标准对洁净工作台的外观尺寸偏差功能性能进行了规定给出了洁净工作台的风速洁净度噪声照度振动幅值等主要性能指标要求。

扫描检漏

   高效空气过滤器作为尘埃颗粒物进入洁净工作台操作区的最后一道防线其自身性能及安装质量的优劣直接关系到洁净工作台能否符合要求高效空气过滤器检漏测试是保证洁净工作台质量的必要措施之一对高效空气过滤器进行扫描检漏过去国外标准都规定用光度计方法人工发尘ＤＯＰ来检漏

而当下游体积分数超过上游体积分数１０－４ 时即为漏对于超高效过滤器这一数值显然是不适用的 标准ＪＧＪ７１ ９０洁净室施工及验收规范根

据理论研究成果首次在国内外明确规定用粒子计数器法检漏可以用大气尘必要时用ＤＯＰ规定在被检高效过滤器上风侧测定大气尘的微粒数以大于或等于０．５ｍ微粒为准其浓度必须大于或等于３．５×１０４粒Ｌ若检测超高效过滤器则以大于或等于０．１ｍ微粒为准其浓度必须大于或等于３．５×１０６ ３．５×１０７粒Ｌ ６当按这一规定检漏时应在距过滤器表面２３ｃｍ处扫描 其评定标准为由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成的透过率对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合格透过率的２倍对于超高效过滤器应不大于出厂合格透过率的３倍这一 检 漏 标 准 被 许 多 标 准规 范 所 采 用如ＧＢ５０２４３ ２００２通 风 与 空 调 工 程 施 工 质 量 验 收 规范７ 但是这一检漏标准在实施中并未得到执行一 是 因 为 太 严 了即 使 按 规 定 上 游 浓 度 达 到３．５×１０４ 粒Ｌ由 于Ａ类过滤器即可具有９９．９９９％的效率 ０．５ｍ 按不大于３倍的透过率计算下游浓度最多有１粒Ｌ也不好检定二是因为每一台过滤器的透过率很难事先知道所以长期以来在大量洁净室高效空气过滤器扫描检漏实测中使用的是一种简便方法对室内不高于ＧＢ５００７３ ２００１洁净厂房设计规范８规定的洁净度级别５级的洁净环境 不计过滤器前浓度认为都符合要求 只要中流量粒子计数器２．８３Ｌｍｉｎ每ｍｉｎ读数不大于３个即认为不漏后来有关规范中更放宽到以３粒Ｌ为界限事实证明当ＧＢ５００７３ ２００１规定的洁净度级别５级等同于ＩＳＯ５级９ 工作区高度或其以上某高度的一个区域浓度偏大时用上述方法检漏一般能找到相应的漏泄点 粒子计数器法明显比光度计法简便精确大气尘法明显比ＤＯＰ法污染小 该标准借鉴ＧＢ５０５９１ ２０１０洁净室施工及验收规范的研究成果１０ 指出了对高效空气过

滤器进行扫描检漏的大气尘检漏方法及相关参数要求。